在激光干涉仪进行透射测量时，激光光源发出的单色光,垂直向下经过被检 元件上、下两表面被标准反射镜反射后会形成干涉条纹，每个点上所生的干涉条 纹取决于该点上两相干的光的光程差。当光程差为 nλ+0.5λ 时，显示为暗条纹； 当光程差为 nλ+λ 时，显示为亮条纹； 所以，当被检元件的两个面不完全平行，存在楔角时，沿楔角方向，元件的厚度 逐渐增大，相应的光程差也逐渐变大，沿楔角方向就会产生间隔分布亮暗条纹。 楔角越大，条纹越密集。
检测指标的简单说明： PV 值在数学上的定义是峰谷值( Peak to Valley),即最大值和最小值的差 值。单位是 λ(波长)。对应到干涉仪透射检测上，就是被检元件的厚度差。 RMS 值在数学上的定义是均方根值(root-mean-square)，单位是 λ(波长),这 是一个统计值，RMS 的大小反映了这些数据值的离散程度。对应到干涉仪透射检 测上，RMS 值越小表明被检元件的厚度平滑性越好，高低起伏越少。 条纹根数是肉眼可见的被检元件厚度差的直观表现，与 PV 值成线性关系。 条纹根数越少表明被检元件的厚度差越小。